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随着DRAM制程的不断缩窄以及3D NAND的发展,对深宽比制造要求越来越高,ALD沉积工艺相比传统CVD和PVD具有更好的均匀性和台阶覆盖能力,更适用于大容量存储制造过程。
前驱体是半导体薄膜沉积工艺的主要原材料,主要应用于气相沉积(包括PVD、CVD及ALD),以形成符合半导体制造要求的各类薄膜层。随下游逻辑、存储等芯片产业发展,前驱体总体市场规模将保持快速增长。根据日本富士经济数据,全球前驱体销售规模在2014年约7.5亿美元,预计2019年达到约12.0亿美元,复合年均增长率10%。
申万宏源重点推荐雅克科技(002409.SZ):公司通过收购实现对韩国前驱体企业UP Chemical 100%控股,未来将填补国内半导体前驱体空白,未来在大基金助力下,将加速导入国内长江存储、中芯国际等,势必迎来加速发展。
5.消费市场持续复苏,百货、黄金珠宝行业率先受益(光大证券)