此次搬入的首台工艺设备为荷兰阿斯麦公司的NXT1980Di光刻机，是目前中国大陆集成电路生产线上最先进的浸没式光刻机。

光刻机是芯片制造的核心设备之一，按照用途可以分为，用于生产芯片的光刻机、用于封装的光刻机和用于LED制造领域的投影光刻机。在加工芯片的过程中，光刻机通过一系列的光源能量、形状控制手段，将光束透射过画着线路图的掩模，经物镜补偿各种光学误差，将线路图成比例缩小后映射到硅片上，然后使用化学方法显影，从而得到刻在硅片上的电路图。简单地说，就是将芯片设计的图形从掩模版上“转移”到涂在硅片表面的光刻胶上。

华力12英寸先进生产线建设项目首台工艺设备的搬入，标志着将康桥工业园南区打造为上海集成电路产业发展新基地取得了阶段性胜利，这对上海市落实《国家集成电路产业发展推进纲要》，同时对上海建设先进制造业的产业集群高地，打响“上海制造”品牌有着重要意义。未来五个月内，华虹六厂工艺设备将集中搬入，其中也包括一些国产设备，今年底前将完成生产线串线并实现试流片，预计月产能达到1万片。

进入全球集成电路产业阵营前列

“有点激动，也有点感动。”华虹集团党委书记、董事长张素心说，自2016年12月30日开工以来，广大建设者克服连绵阴雨、持续高温等不利因素，实施立体和错时施工。经过约一年半的努力，每天工作12小时以上，目前主厂房已完成净化装修，相关配套机电设备准备就绪，具备了工艺设备搬入条件，比原计划进度提前1个半月。

项目建成后，华虹集团将成为拥有覆盖从0.5微米到14纳米各工艺节点的大型集成电路制造产业集团，在产业规模和工艺技术上进入全球集成电路产业阵营的前列。该项目已被列入国家《“十三五”集成电路产业重大生产力布局规划》，是国家“910工程”的子项目之一，也是“十三五”期间上海市重大产业项目和上海市重大工程，并实现了当年立项当年开工。

（原文标题为《上海最大集成电路投资项目华力12英寸先进生产线首台工艺设备搬入，标志该项目进入新阶段 2022年底计划月产能达4万片芯片》）

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