日前，中国芯之殇的各类反思和讨论铺天盖地，中国芯的出路到底在哪里？

中国芯的强大，离不开芯片装备制造业的强大。在集成电路产业链中，装备制造无疑身处该链条的前端，更是整个产业不可或缺的基础。当我们被“中国芯片进口费用超过石油”这一事实所震撼时，少有人洞察到，高精尖装备的缺乏，其实才是卡住中国集成电路产业的厄运之手，而资金困境又是厄运之手的手中“王牌”。

有技术有订单仍陷入泥沼

与国际巨头相比，中国集成电路装备制造企业的数量少、普遍规模小，甚至是微型企业。在中国半导体设备十强排行榜上，中微半导体、上海微电子装备有限公司、盛美半导体榜上有名，先发优势明显。更为重要的是，这些企业在技术上各有特色，或是紧紧追赶国际主流水平，或是填补国内空白，对于中国集成电路产业来说，它们显得弥足珍贵。

睿励科学仪器(上海)有限公司(以下简称睿励)是一家在光学测量设备领域成功突围国际垄断，并拥有自主核心技术的半导体设备企业，其检测设备已挺进一流国际客户的大生产线。其研发的薄膜及OCD设备、光学缺陷检测设备、电子束缺陷检测设备三类检测设备产品，在技术上全部对标行业龙头美国科磊公司，剑指50亿美元的细分市场。

然而，2018年春，当我们走进睿励，却看到这里的生产停滞了，研发也无法继续，海外员工已经有好几个月没有领到工资。睿励相关负责人表示，目前睿励前期研发的产品已经获得了市场大订单，但苦于没有资金而无法生产。业内人士表示，如果睿励因此倒闭，团队解散，国内产业在该检测设备领域将继续处于空白而受制于国外企业。而中国集成电路高精尖装备的制造刚有突破，又可能陷入泥沼。

上下游联动 共同成长

资金是制约我国集成电路高精尖装备制造发展的一个重要原因，中微半导体董事长尹志尧说，集成电路装备的技术门槛高、投资额巨大。国外龙头厂商有相当体量的营收支撑后续的研发，美国应用材料每年的研发投入高达十亿美元以上，这样的大手笔，令国内企业既艳羡又焦虑。雄厚而持续的资金作为支撑，集成电路装备制造企业才能有足够的市场竞争力，也才能生产出高精尖装备。

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