光刻机到底对中国禁不禁售？

物以稀为贵，作为世界上唯一能够制造EUV光刻机的厂商，并且产量极低，阿斯麦全部产能早在生产之前就被预订一空。根据《日经亚洲评论》提供的数据，今年，台积电已经向阿斯麦订购接近10台EUV光刻机，三星约为6台，英特尔为3台。而阿斯麦在4月中旬举行的财报会议上公开称，今年计划有20台EUV光刻机交付，但并没有说明订单详情。

由于《瓦森纳规定》的存在，阿斯麦公司接连对中国企业接单，引发一些质疑。《瓦森纳协定》又称瓦森纳安排机制，全称为《关于常规武器和两用物品及技术出口控制的瓦森纳协定》，目前共有包括美国、日本、英国、俄罗斯等42个成员。尽管“瓦森纳安排”规定成员国自行决定是否发放敏感产品和技术的出口许可证，并在自愿基础上向“瓦森纳安排”其他成员通报有关信息。但“安排”实际上完全受美国控制。而中国、朝鲜、伊朗、利比亚等国均在被限制国家名单之中。当“瓦森纳安排”某一国家拟向中国出口某项高科技技术时，美国甚至直接出面干涉，如捷克拟向中国出口“无源雷达设备”时，美便向捷克施加压力，迫使捷克停止这项交易。

此前曾有一种说法，认为最高端的光刻机技术受到《瓦森纳协定》影响，被禁止向中国大陆出售。然而，阿斯麦公司发言人则对《日经亚洲评论》表示，该企业对包括中国客户在内的全球客户都一视同仁。而且，向中国出售EUV光刻机并没有违反《瓦森纳协定》。

事实上，从中芯国际的官网可以了解到，中芯国际早在2014年10月27日，已经与阿麦斯公司签订过一份光刻设备批量购买协议。这份批量购买订单价值近4.5亿欧元。阿斯麦总裁兼CEO彼得·温尼克（Peter Wennink）在当时就表示：“中国对我们来说，是很重要的市场。通过这个协议，我们希望能在中国客户中增加市场份额，占稳一席之地。”

2017年10月，阿斯麦中国区总裁金泳璇在接受台湾《电子时报》的采访时也表示，阿斯麦对大陆芯片厂与国际客户一视同仁，只要客户下单，EUV要进口到中国完全没有任何问题。在交期方面，所有客户也都完全一致，从下单到正式交货，均为21个月。金泳璇当时就曾透露，目前已有大陆芯片厂巨头与阿斯麦展开7纳米工艺制程的EUV订单洽谈，2019年大陆首台EUV可望落地。而这对中国芯片厂来说无疑是一个好消息。

台湾“中央社”称，从2019年半导体芯片将进入7纳米时代开始（现在处于10纳米时代），EUV光刻机可以被称为战略性设备，没有它就会使芯片制造寸步难行。

阿斯麦公司生产的光刻机。（阿斯麦官网）

芯片国产化进程提速

关于购买光刻机的消息还有更多。就在5月21日，上海华力集成电路制造有限公司建设和营运的12英寸集成电路生产线项目实现首台工艺设备——光刻机搬入， 此次搬入的首台工艺设备为阿斯麦公司的NXT 1980Di光刻机，是目前中国大陆集成电路生产线上最先进的浸没式光刻机。据了解，华力12英寸先进生产线建设项目总投资387亿元人民币，被列为国家《“十三五”集成电路产业重大生产力布局规划》。该项目主要从事逻辑芯片生产，重点服务国内设计企业先进芯片的制造需求，并满足部分事关国家信息安全的重点芯片制造。根据规划，该项目将建成月产能4万片的12英寸集成电路芯片生产线，工艺覆盖28-14纳米技术节点。项目计划于2022年底达到产能目标。

除了资金和技术人才的投入外，为推进《国家集成电路产业推进纲要》落地，我国将针对集成电路先进工艺和智能传感器创新能力不足等问题，出台一系列政策“组合拳”，加速多个重点关键产品和技术的攻关，以此促进我国集成电路产业的快速健康发展，并缩小我国集成电路产业和世界先进水平的差距。据国家制造强国建设战略咨询委员会制定的产业发展目标，到2020年我国集成电路产业与国际先进水平的差距将逐步缩小，全行业销售收入年均增速超过20%。到2030年，集成电路产业链主要环节达到国际先进水平，一批企业进入国际第一梯队，产业实现跨越式发展。我国“国产替代”的研发能力和生产进度都在不断提速中。（文/平悦）

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