参考消息网5月22日报道 5月19日，长江存储终于盼来了自己的首台光刻机。当天中午，这台价值7200万美元、比黄金还金贵的设备，运抵了武汉天河机场。这台来自全球最大的芯片设备制造商——荷兰阿斯麦公司（ASML）的大家伙的到来，被外界看做中国芯片技术的重要突破。

好消息不止一个。就在几天前，据《日经亚洲评论》15日援引消息人士的话称，中国芯片加工企业中芯国际（SMIC）也与同一家企业——荷兰阿斯麦公司订购了其首台最先进的EUV（极紫外线）光刻机，价值1.2亿美元。消息称，这台几乎相当于中芯国际去年全部净利润的设备，将于2019年初交付。

5月19日，长江存储首台光刻机运抵武汉天河机场。

光刻机为何物？

光刻机为何物？为何如此金贵？

香港《明报》5月22日报道称，光刻机（又称曝光机）是生产大规模集成电路的核心设备，其作用是扫描曝光芯片晶圆，刻蚀集成电路。制造和维护需要高度的光学和电子工业基础，世界上只有少数厂家掌握。因此光刻机的价格昂贵，通常在3000万至5亿美元不等。目前，虽然尼康、佳能等对手都在勉力竞争，但是自飞利浦独立的阿斯麦公司掌握了90%以上的高端光刻机市场份额。精度愈高的光刻机，能生产出纳米尺寸愈小、功能更强大的芯片。

世界最新最先进的两代高端光刻机领域，即浸入式（Immersion）和极紫外线式（EUV）光刻机，全部由阿斯麦掌握核心技术。报道称，小于5纳米的芯片晶圆，目前只能用EUV光刻机生产。三星电子和台积电目前正竞争生产7纳米工艺技术芯片，这两家都订购了阿斯麦公司的EUV光刻机。目前，苹果iPhone X和iPhone 8系列的核心处理器芯片，采用的是台积电10纳米工艺技术，而今年即将推出的新款iPhone将使用7纳米工艺技术。

由此可知，拥有光刻机对芯片工艺的实现有着决定性的影响。

荷兰阿斯麦公司厂区。（法新社）

不断补足芯片量产短板

目前，在芯片技术的研发上中国已经有了飞速进展，但在制造量产上还是短板。这两台光刻机的引进将大大提高中国在芯片制造工艺上的水平。

据悉，19日运抵的光刻机只是长江存储的首台光刻机，陆续还会有多台运抵。报道称，该设备在相关的海关、商检及边防口岸的相关手续办理完成后，即可运至长江存储的工厂，可用于14-20纳米工艺。这也从侧面透露了长江存储3D NAND闪存芯片的工艺制程。

根据长江存储官网的介绍，2016年，紫光集团与国家集成电路产业投资基金、湖北科投等合资成立了长江存储，注册资本额为人民币386亿元。当年，长江存储启动了位于武汉的国家存储器基地的建设。2017年9月，项目一期的一号生产及动力厂房提前封顶，2018年4月11日，首批价值400万美元的芯片生产机正式进场安装。这标志着国家存储器基地从厂房建设阶段进入量产准备阶段，中国首批拥有完全自主知识产权的32层三维NAND闪存芯片将于年内量产。

4月27日，长江存储公司内展示的国家存储器基地建设现场。（新华社）

目前，长江存储的32层堆叠3D NAND闪存已经开始试产，不少产业链企业都拿到了样片测试，预计今年第四季度量产。另外据日本经济新闻今年2月22日报道，苹果正在与长江存储进行谈判，以购买其生产的NAND闪存芯片。据分析苹果首先将仅在面向中国国内的产品中采用。多名知情人士透露了上述消息。苹果讨论采用用于保存电子设备数据的NAND型闪存。苹果对半导体的品质要求很高，不少观点认为实际采用要到2020年之后。

如果能够和苹果这样的巨头签订大单，对于长江存储来说，将是一个巨大的好消息。对中国而言，这个交易也将有助于减少对外国芯片供应的依赖，因而愿意大举投资。另据紫光集团全球执行副总裁暨长江存储执行董事长高启全披露：长江存储的3D NAND Flash已经获得第一笔订单，总计10776颗芯片，将用于8GB USD存储卡产品。他在接受采访时强调：“这仅是刚刚开始”。

而对于中国内地规模最大、技术最先进的芯片制造企业，成立于2000年的中芯国际购买光刻机的举动也引发关注。据日经亚洲评论报道，据消息人士透露，中芯国际是在美国4月份对中兴通讯制裁后下达的订单。报道称，尽管中芯国际在这一市场仍落后于市场领先者两至三代技术，但是购买到目前世界最先进的EUV光刻机，彰显了其努力追赶的决心。据了解在2017年3月，中芯国际宣布将进军7纳米工艺技术的研发。而EUV光刻机则是现今唯一能够生产7纳米以下的设备，因此，其也被称为“突破摩尔定律的救星”。

中芯国际集成电路制造（北京）有限公司的工作人员在车间内忙碌。（新华社）

相关报道: